產(chǎn)品名稱(chēng):上海蘇州杭州合肥南京高低溫真空探針臺(tái)
產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2024-08-20
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
堅(jiān)融實(shí)業(yè)——一家致力于為祖國(guó)用戶(hù)提供上海蘇州杭州合肥南京高低溫真空探針臺(tái)儀器設(shè)備、測(cè)試方案、技術(shù)培訓(xùn)、維修計(jì)量全面服務(wù)的儀器設(shè)備綜合服務(wù)商。
專(zhuān)業(yè)儀器設(shè)備與測(cè)試方案供應(yīng)商——上海堅(jiān)融實(shí)業(yè)有限公司JETYOO INDUSTRIAL & 堅(jiān)友(上海)測(cè)量?jī)x器有限公司JETYOO INSTRUMENTS,為原安捷倫Agilent【現(xiàn)是德KEYSIGHT】品牌技術(shù)經(jīng)理-堅(jiān)JET與吉時(shí)利KEITHLEY【現(xiàn)泰克Tektronix】品牌產(chǎn)品經(jīng)理-融YOO于2011年共同創(chuàng)辦,專(zhuān)注工業(yè)測(cè)試領(lǐng)域十六年,志在破舊立新!*進(jìn)口儀器設(shè)備大多數(shù)廠家僅在國(guó)內(nèi)設(shè)銷(xiāo)售點(diǎn),但技術(shù)支持薄弱甚至沒(méi)有,而代理經(jīng)銷(xiāo)商也只做商務(wù),不做售前技術(shù)支持/測(cè)試方案和售后使用培訓(xùn)/維修校準(zhǔn)的空白。我們的技術(shù)型銷(xiāo)售均為本科以上學(xué)歷,且均有10年以上測(cè)試行業(yè)經(jīng)驗(yàn),以我們*進(jìn)*的經(jīng)營(yíng)理念,與客戶(hù)互惠互利合作雙贏,重在協(xié)助用戶(hù)采購(gòu)與技術(shù)工程師的工作,提供較有競(jìng)爭(zhēng)力的供應(yīng)鏈管理與售前售后技術(shù)支持。堅(jiān)融實(shí)業(yè)——一家致力于為祖國(guó)用戶(hù)提供上海蘇州杭州合肥南京高低溫真空探針臺(tái)儀器設(shè)備、測(cè)試方案、技術(shù)培訓(xùn)、維修計(jì)量全面服務(wù)的儀器設(shè)備綜合服務(wù)商。
上海蘇州杭州合肥南京高低溫真空探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)特點(diǎn)/應(yīng)用
2至6英寸樣品臺(tái)
高真空腔體
防輻射屏設(shè)計(jì),樣品溫度均勻性更好
77K-675K高低溫環(huán)境
兼容IV/CV/RF測(cè)試
外置多探針臂,移動(dòng)行程大
經(jīng)濟(jì)實(shí)用,可無(wú)縫升級(jí)
極低溫測(cè)試
因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí),空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上,會(huì)導(dǎo)致漏電過(guò)大或者探針無(wú)法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
高溫?zé)o氧化測(cè)試
當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí),氧化現(xiàn)象會(huì)越來(lái)越明顯,并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過(guò)度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差,物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
晶圓測(cè)試過(guò)程中溫度在低溫和高溫中變換,因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象,定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移,這時(shí)需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來(lái)調(diào)整探針的位置。
腔體規(guī)格
樣品臺(tái)尺寸:2英寸/4英寸/6英寸
樣品固定:彈簧壓片
觀察窗口:2英寸/4英寸/6英寸
真空度:10-6torr
探針臂接口:4~6個(gè)探針臂接口
其他接口:電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口
制冷方式:液氮/液氦/制冷機(jī)
溫度范圍:77K到573K/4.5K到573K
溫控精度:0.1K/0.01K/0.001K
穩(wěn)定性:±1K/±0.1K/±0.01K
外形:880mm長(zhǎng)*880mm寬*600mm高/980mm長(zhǎng)*980mm寬*600mm高
重量:約100千克/120千克
光學(xué)系統(tǒng)
顯微鏡類(lèi)型:?jiǎn)瓮诧@微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡
放大倍率:16X-200X/20X-4000X
移動(dòng)行程:水平360度轉(zhuǎn),Z軸行程50.8mm
光源:外置LED環(huán)形光源/同軸光源
CCD:200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素
探針臂
X-Y-Z移動(dòng)行程:50mm*50mm*50mm
結(jié)構(gòu):外置探針臂,真空波紋管結(jié)構(gòu)
移動(dòng)精度:10微米/1微米
線纜:同軸線/三軸線/射頻線
漏電精度:10pA/100fA/10fA
固定探針:彈簧固定/管狀固定
接頭類(lèi)型:BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚(yú)夾/接線端子
頻率支持:DC-67GHZ
針尖直徑:0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
其他組件
真空組件
分子泵組/機(jī)械泵/離子泵
冷源組件
50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機(jī)
可選附件
超高溫配件
顯示器
轉(zhuǎn)接頭
射頻測(cè)試配件
屏蔽箱
光學(xué)平臺(tái)
鍍金卡盤(pán)
光電測(cè)試配件
高壓測(cè)試配件
分子泵組
激光系統(tǒng)
氣敏測(cè)試配件
上海蘇州杭州合肥南京高溫加熱探針臺(tái)系統(tǒng)特點(diǎn)/應(yīng)用
最大可用于8英寸以?xún)?nèi)樣品測(cè)試
同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu),線性移動(dòng)
可滿足500度高溫測(cè)試
溫度穩(wěn)定性高
兼容IV/CV/RF測(cè)試
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單合理,操作方便
探針臺(tái)可根據(jù)客戶(hù)要求定制
臺(tái)體規(guī)格
樣品臺(tái)尺寸:4英寸/6英寸/8英寸
水平旋轉(zhuǎn):可360度旋轉(zhuǎn),可微調(diào)15度,精度0.1度,帶角度鎖死裝置
X-Y移動(dòng)行程:4英寸*4英寸/6英寸*6英寸/8英寸*8英寸
X-Y移動(dòng)精度:10微米/1微米
樣品固定:真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環(huán)
針座平臺(tái):U型針座平臺(tái),最多可放置8個(gè)探針座
背電極測(cè)試:樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空,4mm插孔可接背電極
溫度范圍:室溫到300度/室溫到400度/室溫到600度
溫控精度:1度/0.1度/0.01度
穩(wěn)定性:±1度/±0.1度
外形尺寸:400mm長(zhǎng)*400mm寬*600mm高/580mm長(zhǎng)*480mm寬*600mm高/840mm長(zhǎng)*600mm寬*700mm高
重量:約30千克/60千克/100千克
光學(xué)系統(tǒng)
顯微鏡類(lèi)型:?jiǎn)瓮诧@微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡
放大倍率:16X-200X/20X-4000X
移動(dòng)行程:X-Y軸行程2英寸*2英寸/水平360度旋轉(zhuǎn),Z軸行程50.8mm
光源:外置LED環(huán)形光源/同軸光源
CCD:200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素
定位器
X-Y-Z移動(dòng)行程:12mm*12mm*12mm
移動(dòng)精度:10微米/2微米/0.7微米/0.5微米
吸附方式:磁力吸附/真空吸附
線纜:同軸線/三軸線
漏電精度:10pA/100fA/10fA
固定探針:彈簧固定/管狀固定
接頭類(lèi)型:BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚(yú)夾/接線端子
針尖直徑:0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
針尖材質(zhì):鎢鋼/鈹銅
可選附件
水冷裝置
顯示器
轉(zhuǎn)接頭
射頻測(cè)試配件
屏蔽箱
光學(xué)平臺(tái)
鍍金卡盤(pán)
光電測(cè)試配件
高壓測(cè)試配件
顯微鏡快速傾仰裝置
激光系統(tǒng)
探針卡夾具
上海蘇州杭州合肥南京高低溫探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)特點(diǎn)/應(yīng)用
最大可用于12英寸以?xún)?nèi)樣品測(cè)試
采用密閉腔結(jié)構(gòu),屏蔽外部電信干擾同時(shí)保持氮?dú)庹龎涵h(huán)境下樣品在低溫時(shí)無(wú)結(jié)霜
優(yōu)化的腔體保溫結(jié)構(gòu)可以極大的減少液氮消耗量
可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡
可搭配多種類(lèi)型顯微鏡
結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計(jì),可無(wú)縫升級(jí)
探針臺(tái)可根據(jù)客戶(hù)要求定制。
臺(tái)體規(guī)格
樣品臺(tái)尺寸:4英寸/6英寸/8英寸
水平旋轉(zhuǎn):可360度旋轉(zhuǎn),可微調(diào)15度,精度0.1度,帶角度鎖死裝置
X-Y移動(dòng)行程:4英寸*4英寸/6英寸*6英寸/8英寸*8英寸
X-Y移動(dòng)精度:10微米/1微米
樣品固定:真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環(huán)
針座平臺(tái):U型針座平臺(tái),最多可放置8個(gè)探針座
背電極測(cè)試:樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空,4mm插孔可接背電極
溫度范圍:室溫到300度/室溫到400度/室溫到600度
溫控精度:1度/0.1度/0.01度
穩(wěn)定性:±1度/±0.1度
外形尺寸:400mm長(zhǎng)*400mm寬*600mm高/580mm長(zhǎng)*480mm寬*600mm高/840mm長(zhǎng)*600mm寬*700mm高
重量:約30千克/60千克/100千克
光學(xué)系統(tǒng)
顯微鏡類(lèi)型:?jiǎn)瓮诧@微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡
放大倍率:16X-200X/20X-4000X
移動(dòng)行程:X-Y軸行程2英寸*2英寸/水平360度旋轉(zhuǎn),Z軸行程50.8mm
光源:外置LED環(huán)形光源/同軸光源
CCD:200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素
定位器
X-Y-Z移動(dòng)行程:12mm*12mm*12mm
移動(dòng)精度:10微米/2微米/0.7微米/0.5微米
吸附方式:磁力吸附/真空吸附
線纜:同軸線/三軸線
漏電精度:10pA/100fA/10fA
固定探針:彈簧固定/管狀固定
接頭類(lèi)型:BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚(yú)夾/接線端子
針尖直徑:0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
針尖材質(zhì):鎢鋼/鈹銅
可選附件
加熱臺(tái)
顯示器
轉(zhuǎn)接頭
射頻測(cè)試配件
屏蔽箱
光學(xué)平臺(tái)
鍍金卡盤(pán)
光電測(cè)試配件
高壓測(cè)試配件
顯微鏡快速傾仰裝置
激光系統(tǒng)
探針卡夾具